심천 Esun 산업 Co., Ltd.

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에틸 락테이트

에틸 락테이트 전자 등급

에틸 락테이트는 무색 투명한 액체로, 환경 친화적인 용매입니다.

특징:높은 함량, 낮은 금속 이온, 사용자 정의 가능.

제품 소개

전자용 에틸락테이트는 재생 가능한 식물 자원에서 합성된 천연 친환경 소재입니다. 이러한 전자 용매는 여러 공정을 거쳐 정제되며, 최종 제품은 초고순도와 낮은 중금속 함량을 갖습니다.

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사양

제품명	에틸 락테이트
별칭	에틸 2-하이드록시프로피오네이트
CAS 번호	97-64-3
EINECS	202-598-0
분자식	C5H10O3
위험 수준	카테고리 3
콘텐츠	99.7%분
모습	무색 액체
패키지	200kg/배럴, IBC 배럴
비등점	154°C
인화점	46도
굴절률	1.4124g/ml
밀도	1.030~1.038 g/ml(20℃)
분자량	118.13g/몰

명세서:

콘텐츠	≥99.7%
크로마	≤50APHA
산가	≤0.1%
에탄올 함량	≤0.1%
물(칼 피셔)	≤0.1%
선두	≤5ppb
구리	≤5ppb
철	≤5ppb
알류미늄	≤5ppb
망간	≤5ppb
수은	≤5ppb
카드뮴	≤5ppb
니켈	≤5ppb
칼륨	≤5ppb
나트륨	≤5ppb
(25 °C) 비중/밀도	0.974~0.984
굴절률	1.419~1.426

특징

에틸 락테이트는 환경 친화적이고 무독성인 반면, 기존 용매인 NMP는 독성이 있습니다.
에틸락테이트는 재활용이 용이하며, 회수된 액체를 증류하여 회수율을 50% 이상으로 높일 수 있습니다. 기존 용매에 비해 에틸락테이트를 사용하면 환경 친화적일 뿐만 아니라 경제적 효과도 높아 친환경 및 저탄소 발전 추세에 부합합니다.

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응용 프로그램 예제

포토레지스트

포토레지스트

① 포토레지스트 용매

전자 등급 에틸 락테이트는 포토레지스트의 용매로 사용되어 수지, 감광제 및 첨가제를 함께 용해하여 액체 포토레지스트를 형성합니다.

② 포토레지스트 세정제

포토레지스트 에칭이 완료되면 남은 포토레지스트를 세척해야 합니다. 과거에는 NMP(1-메틸-2-피롤리돈)를 세척에 사용한 후 물과 알칼리 용액을 사용하는 경우가 많았습니다. 그러나 많은 국가에서 NMP는 환경뿐만 아니라 작업자의 건강에도 잠재적으로 유해한 독성 화학물질로 정의됩니다. eSUN의 친환경 전자 등급 락트산 에틸 에테르는 포토레지스트 세척 시 NMP를 대체할 수 있습니다. 기존 화학 물질 대신 친환경 세척제를 사용하는 것 또한 현재 업계의 발전 추세 중 하나입니다.

전자 청소기

전자 세척

①LCD 패널 세척

LCD 패널의 봉지 공정에서는 봉지 잔류물이 생성되는데, 이는 에틸락테이트로 세척할 수 있습니다. 과거에는 NMP가 세척에 널리 사용되었지만, 단점으로 인해 점차 에틸락테이트로 대체되고 있습니다.

②웨이퍼 세정

웨이퍼 제조 공정에서 오염물질을 제거합니다.

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